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敞开式光栅尺是种精密的测量工具

更新时间:2026-01-27      浏览次数:10
  敞开式光栅尺作为精密测量工具,其准确性和稳定性对于各种工业应用至关重要。遵循上述测定步骤和使用注意事项,可以有效延长光栅尺的使用寿命,减少故障发生,从而保障生产质量和效率。凭借其精度、快速的响应能力以及良好的环境适应性,成为众多高科技领域不可少的测量工具。随着技术的不断进步,未来它将在更多新兴领域展现更大的应用潜力。
 
  敞开式光栅尺的优点:
 
  1.超高精度测量:分辨率可达纳米级,能够满足半导体制造、精密机床等场景的需求。采用干涉扫描技术,测量步距仅为1nm。同时,基于SUPRADUR工艺的玻璃基体光栅,重复精度优于0.1μm,长期稳定性强。
 
  2.快速响应与高效测量:最大测量速度可达2.5m/s,能够实现高效流畅的数据读取,适用于动态测量环境。
 
  3.环境适应性强:工作于0~40℃,20~80 RH,存储于-10~60℃,20~80 RH,无惧严苛。
 
  4.安装便捷:结构简单,安装方便,无需复杂的传动机构。
 
  敞开式光栅尺的测定步骤:
 
  1.外观检查:检查光栅尺尺体及动尺部分有无磕碰、变形、划痕等机械损伤,确保外部结构完好。
 
  2.功能连续性检查:将光栅尺尺体连接至匹配的专用数显表,缓慢移动动尺,观察数显表数值变化是否连续、无跳变,判断内部栅体均匀性及是否损伤。
 
  3.读数稳定性检查:使用挡块定位动尺于某一位置,来回移动动尺后复位,重复多次,观察数显表读数是否稳定在同一数值,验证读数重复性。
 
  4.形位精度检查:将光栅尺安装基准面固定,在动尺上安放磁力表座并吸附千分表,使千分表测头接触基准面,移动动尺,观察千分表示值变化范围是否在规定误差范围内,确保安装基准与运动轨迹的平行度等形位精度。
敞开式光栅尺
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